隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展，對(duì)電子氣體的純度和質(zhì)量要求越來越高，我國(guó)電子氣體目前發(fā)展目標(biāo)是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國(guó)產(chǎn)化率，并向完成對(duì)特氣生產(chǎn)及應(yīng)用的全套技術(shù)開發(fā)的目標(biāo)努力，技術(shù)包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監(jiān)測(cè)、充裝、輸送、貯存技術(shù)，以及安全、環(huán)保技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)配氣技術(shù)、回收與再利用技術(shù)等。

同時(shí)為提高混合氣使用效率，解決安全使用和運(yùn)輸電子氣體，特別是高純氟氣的問題， 以推動(dòng)綠色氣體的使用，以及滿足降低處理廢氣成本和環(huán)保要求，從而確定高純電子氣體發(fā)展方向?yàn)椋壕G色氣體、現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生技術(shù)和回收技術(shù)。