有源矩陣薄膜晶體管（TFT）顯示屏在二十世紀(jì)九十年代開(kāi)始民用以來(lái)，它已成為現(xiàn)代生活不可或缺的組成部分，其應(yīng)用遠(yuǎn)不限于電視機(jī)和智能手機(jī)，它還存在于我們?nèi)粘Ｉ钪械闹饕ㄐ藕托畔⒐ぞ撸菏直恚纱┐髟O(shè)備）、電器、廣告、標(biāo)牌、汽車(chē)等。本文主要討論顯示制造工藝塊所需要的特種氣體，并對(duì)各種氣體供應(yīng)模式進(jìn)行綜述。

TFT顯示屏制造與半導(dǎo)體器件制造方面有很多相似之處，比如：這兩種制造過(guò)程中都需要使用大量氣體、比如工藝步驟中的沉積、刻蝕、清潔和摻雜，還有其他步驟使用的氣體類(lèi)型也都比較相似。

技術(shù)

顯示設(shè)備分層

目前市場(chǎng)上有兩種顯示屏：有源矩陣液晶顯示屏（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的顯示屏基本部件相同。顯示設(shè)備有4層（圖1）：濾色層、薄膜晶體管開(kāi)關(guān)層（氣體主要用于這一層）、用于控制顏色選擇的快門(mén)層、RGB（紅綠藍(lán)）顏色過(guò)濾器。