關(guān)于背板/TFT

顯示屏采用的薄膜晶體管為2D漸變型晶體管，類似于FinFET之前的大宗CMOS。有源矩陣顯示屏每個(gè)像素有一個(gè)晶體管，驅(qū)動(dòng)晶體管內(nèi)的一種RGB顏色。隨著顯示屏分辨率增加，晶體管變小，但不會(huì)縮小到半導(dǎo)體設(shè)備的亞微米級(jí)尺寸。例如，像素密度為325PPI的智能手表，其晶體管大小約為2mm2，而80 PPI像素密度的4K電視，晶體管大小約為8mm2。

背板類型

顯示屏的薄膜晶體管設(shè)備主要有三種：非晶硅（a-Si）、低溫多晶硅（LTPS）和金屬氧化物（MO），也稱為透明非晶氧化物半導(dǎo)體(TAOS)。AMLCD面板使用a-Si一般是用于低分辨率顯示屏和電視機(jī)，而高分辨率顯示屏采用LTPS晶體管，不過由于成本較高、可擴(kuò)展性受限，一般用于中小型顯示屏。AMOLED面板使用LTPS和MO晶體管，其中MO設(shè)備通常用于電視機(jī)和大型顯示屏（圖3）。

氣體的使用方式

由于技術(shù)變遷，相比AMLCD面板，生產(chǎn)AMOLED面板所需使用的氣體也要發(fā)生變化。如圖4所示，目前生產(chǎn)顯示屏?xí)r采用多種氣體。

這些氣體可分為兩類：電子特種氣體（ESG）和電子大宗氣體（EBG）。電子特種氣體包括硅烷、三氟化氮、氟（現(xiàn)場產(chǎn)生）、六氟化硫、氨氣以及磷化氫混合物，占顯示屏制造中使用氣體的52％，而電子大宗氣體包括氮?dú)?、氫氣、氦氣、氧氣、二氧化碳和氬氣，占顯示屏制造中使用氣體的48％。