氣體圈子訊：近日，福建華誼三愛富氟佑新材料有限公司“三愛富（邵武）氟化學(xué)產(chǎn)業(yè)基地一期工程項(xiàng)目”環(huán)境影響評價第二次公示。該項(xiàng)目擬建于南平市邵武市金塘工業(yè)園三期沙塘平臺，項(xiàng)目分二期實(shí)施，一期工程建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模：50t/a 六氟丁二烯裝置、50t/aF2裝置、配套 36萬 Nm3/a 制氫裝置、3000t/a 六氟環(huán)氧丙烷裝置、200t/aPPVE、2000t/a 六氟丙酮裝置、1000t/a 雙酚 AF 裝置、1000t/a 六氟異丙醇裝置、500t/a 全氟聚醚裝置等九套及配套的公輔工程，本次評價內(nèi)容為一期工程。

該項(xiàng)目是由上海三愛富新材料科技有限公司和福煤（邵武）煤業(yè)有限公司共同出資在福建省邵武金塘工業(yè)園區(qū)注冊成立的合資公司建造，合資公司（福建華誼三愛富氟佑新材料有限公司）中上海三愛富持股 80%、邵煤公司持股 20%。近幾年，上海三愛富積極實(shí)施“走出去”戰(zhàn)略。為進(jìn)一步壯大公司實(shí)力，做大做強(qiáng)氟化工主業(yè)，上海三愛富在上級單位華誼集團(tuán)公司的大力支持下，決定戰(zhàn)略性選址福建邵武市金塘精細(xì)化工園投資建設(shè)新的生產(chǎn)研發(fā)基地，和當(dāng)?shù)睾献骰锇橐黄?，依托?dāng)?shù)貎?yōu)質(zhì)螢石資源，建設(shè)涵蓋電子級氟化氫、中高端含氟聚合物、新型環(huán)保制冷劑、特種含氟精細(xì)化學(xué)品等氟化工產(chǎn)品在內(nèi)的綜合性產(chǎn)業(yè)基地，以助力實(shí)現(xiàn)公司自身發(fā)展定位和目標(biāo)。

六氟丁二烯（C4F6）又稱全氟丁二烯，作為下一代蝕刻氣體，被認(rèn)為具有競爭優(yōu)勢，它可取代CF4用于KrF激光銳利蝕刻半導(dǎo)體電容器圖形的干工藝。C4F6在先進(jìn)制程技術(shù)層面有諸多蝕刻上的優(yōu)點(diǎn)：它具有高選擇性和精確性、各向異性，適合對100 nm以下的電子線路進(jìn)行蝕刻，性能較全氟碳?xì)怏w和NF3更好；C4F6與C4F8相比也具有更高的對光阻和氮化硅選擇比，這是很重要的兩個優(yōu)點(diǎn)；此外環(huán)境方面也是一個非常重要的因素，C4F6的全球變暖潛能值(GWP)幾乎為0。有關(guān)專家指出，到目前為止，C4F6可能是唯一能提供所需蝕刻條件及減少排放的替代物。六氟丁二烯的合成路徑較為多樣化，但總結(jié)起來核心中間體可以分為六氟四氯丁烷、八氟二溴（碘）丁烷、三氟乙烯基氯（溴）化鋅三大類，起始原料為四氯乙烯、三氯乙烯及三氯甲烷等氯代烴以及HF、F2等含氟物。

六氟丁二烯（C4F6）是一種附加值高，市場前景廣闊的電子氣體。目前，主要由海外廠商及海外廠商在國內(nèi)的子公司經(jīng)營，韓國厚城、梅塞爾、關(guān)東電化和大陽日酸等在國內(nèi)均有生產(chǎn)布局。國內(nèi)也有不少企業(yè)開始對其開展研究，包括綠菱氣體、宇極科技、浙化院、派瑞特氣等，其中宇極科技和浙化院分別于2017年、2018年在氣體圈子主辦的特種氣體專業(yè)研討會上就六氟丁二烯（C4F6）開發(fā)流程、生產(chǎn)技術(shù)和市場前景做專業(yè)分享。

宇極科技賈曉卿博士在氣體圈子2017年研討會做分享

浙化院張金柯博士在2018年氣體圈子研討會做分享